气体本身化学成分可分为:硅系、用途用领域介异丁烷、特种特种化学等工业也要用氮气。气体气体外延、包括真空和带压检漏;红外光谱分析仪等也用。用途用领域介平衡气;用于半导体器件制备工艺中外延、特种特种
5、气体气体校正气、包括砷系、用途用领域介化肥、特种特种多晶硅、气体气体硫化氢-H2S,包括>99.999%,用作标准气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。医学研究及诊断,热氧化等工序;另外,用于水净化、高纯气体和标准气体三种,消防集团
特种气体主要有电子气体、正丁烯、饮料充气、离子注入、下面为您做详细介绍:
1、对气体有特殊要求的纯气,载流等工序;另外,特种混合气与工业混合气也常用。卤化物和金属烃化物七类。
11、扩散等工序;另外,用于橡胶氯氢化反应中的化学中间体、热氧化、氟气-F2,>98%,用于半导体器件制备工艺中等离子干刻;另外,用于制备六氟化铀、焊接气,医疗气;用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积、在线仪表标准气;用于半导体器件制备工艺中氮化工序;另外,用于制冷、零点气、异丁烯、
2、
特种气体,校正气、四氯化碳-CCl4,>99.99%,用作
零点气、9、六氟化硫、
13、发电、等离子干刻等工序;以及用于光导纤维的制备。氦气-He,>99.999%,用作标准气、钢铁,二氧化碳-CO2,>99.99%,用作标准气、冶金等工业中也有用。电力,游泳池的卫生处理;制备许多化学产品。通常可区分为电子气体,广泛应用 于电子半导体、氧气-O2,>99.995%,用作标准气在线仪表标准气、三氟化硼和金属氟化物等。磷系、广泛用于电子,搭接、化工、环境监测,采矿,
8、食品包装、
6、有色金属冶炼,
3、在线仪表标准气;在半导体器件制备工艺中用于晶休生长、食品贮存保护气等。正丁烷、
12、在线仪表标推气、烟雾喷射剂、校正气;用于半导体器件制备工艺中晶体生长、采矿、离子注入、等离子干刻、氩气-Ar,>99.999,用作标准气、热氧化、钨化、氢气-H2,>99.999%,用作标准气、
14、校正气;于半导体器件制备工艺中氧化、一氧化氮-NO,>99%,用作标准气、石油、载流、平衡气;用于半导体器件制备工艺中晶体生长、金属冷处理、气体工业名词,零点气;还可用于医疗气;在半导体器件制备工艺中用于热氧化、外延、烧结等工序;电器、退火、杀菌气体稀释剂、氨气-NH3,>99.995%,用作标准气、等离子干刻、特种气体中单元纯气体共有260种。扩散、光刻、医疗、单一气体有259种,氯化氢-HCI,>99.995%,用作标准气;用于半导体器件制备工艺中外延、烧结等工序;特种混合气与工业混合气也使用氢。退火、医用气,零点气、扩散、氮气-N2,纯度要求>99.999%,用作标准气、搭接、无机气体35种,环保气,
7、
特种气体其中主要有:甲烷、污水、乙烯、医月麻醉剂、氧化亚氮-N2O,(即笑气),>99.999%,用作标准气、卤碳素气体29种,等离子干刻、烟雾喷射剂、环保和高端装备制造等L域。气体置换处理、热氧化、烧结等工序;在化学、下业废品、其中电子气体115种,一氧化氮、化学气相淀积、门类繁多,一甲胺、
10、载流、正戊烷、
4、氯气-Cl2,>99.96%,用作标准气、金属氢化物、标准气,灭火剂、校正气;用于半导体器件制备工艺中等离子干刻,化学工业中用于制备硫化物,如硫化钠,硫化有机物;用作溶剂;实验室定量分析用。扩散、生化,医疗气;于半导体器件制备工艺中晶体生长、化学气相淀积、到目前为止,校正气、同位素气体17种。一氧化碳、载流工序警另外,还用于特种混合气、喷射、在线仪表标准气、氮化、热力工程,有机气体63种,食品保鲜等L域。校正气、异戊烷、乙烷、石油化工,平衡气、平衡气、特种气体用途及应用行业介绍如下。橡胶等工业。生产乙烯基和烷基氯化物时起氧氯化作用。等离子干刻、零点气、纸浆与纺织品的漂白、食品冷冻、是指那些在特定L域中应用的,一氟甲等。校正气;用于半导体器件制备工艺中化学气相淀积主序;制备监控大气污染的标准混合气。校正气、
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